Nun ja, rein grammatisch betrachtet sind alle Sätze korrekt. Dennoch diagnostiziere ich hier einen schweren Fall von Substantivitis! Es tun sich also eher stilistische Fragen auf. Ich empfehle Verbalstil:
Es soll ebenfalls untersucht werden, ob die Anlage dazu geeignet ist, spezifische Größen kompletter Proben bzw. einzelner Komponenten [davon] zu messen.